真空科學發展前景展望
隨著科學技術的發展、特別是近年來計算機和微電子學、生物工程、材料科學、表面科學、航天和航海工程等高技術科學的發展,對真空科學要求越來越高。真空科學做為這些高技術發展不可缺少的技術必將起到更加重要的作用。例如,在目前微電子學及其納米級電子材料和元器件的發展中。對真空系統不僅要求采用高真空、超高真空和真空氣氛清潔無油,而且要求耐腐蝕、耐粉塵 。 為了適應這些要求,在真空獲得設備中制造各種于式泵、耐腐蝕泵,進一步發展磁懸浮式分子泵和能夠避免強磁場及等離子體對渦輸分子泵金屬轉子產生渦流發 熱的用陶瓷做成轉子的新型分子泵,是很必要的。在真空測量方面,我國與國外也存在較大的差距,主要表現在真空規管的結構,電子線路的設計,集成電路和自動換擋及數字顯示等新技術的采用上。因此盡快的改變我國真空測量儀器的現狀,促進這一技術向多用化、自動化及體積小、外形美等方面發展,也是一個重要的問題。此外,追趕當前國際上在極高真空測量和特殊條件下的真空測量頸域中的******水平、也是我國真空工作者一項責無旁貸的艱巨任務。
(轉載自:中國真空網)